簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "陳良益".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="感應耦合電漿"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    以氬氧混合氣體感應耦合電漿低溫輔助氧化4H碳化矽的製程探討
    • 化學工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 劉怡忻 指導教授: 洪儒生
    • 點閱:145下載:0
    • 全文公開日期 2025/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2027/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2027/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    以Ar/O2感應耦合電漿低溫氧化4H碳化矽初期階段之探討
    • 化學工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 許兆宏 指導教授: 洪儒生 陳良益
    • 本研究乃以實驗室組裝之感應耦合電漿(ICP)反應系統來低溫氧化4H碳化矽晶片以製備閘極介電層。實驗上,以連結反應腔體至X射線光電子能譜儀(XPS)測量腔體,達到階段氧化後可不需暴露試片於大氣即可進行…
    • 點閱:283下載:1
    1